TAT-02は、a-si LCD のTFTアレイ用のプローブステーションです。 ソース側のPADの一部に、信号発生器からのドライブ信号やDC電源を入力してアレイ基板の測定したい部位の波形をオシロスコープで見ることができます。

特長

●TFTアレイサイズ1.8inchから22inch (16：9)までフレキシブルに対応可能な構造です。 ●プローブのコンタクトは、PAD位置がガラスの端面から最大50mmの位置まで対応可能です。 ●プローブステージは、信号印加用プローブカードとCOMMON用プローブカードを付け替えることによりTFTアレイの下辺及び右辺のPADにあてることができます。 ●低重心構造で防振ゴム足を使用することにより、外部による振動を受けにくくなっています。 （振動を完全に除きたいときは、防振定盤を別途に設置してください。） ●エアー供給が必要無いため、あらゆるフロアで使用できます。 （ただし、顕微鏡照明のためのAC電源は必要です。） オシロスコープ用プローブステージは、TFTアレイのどの位置でもあてることができます。 ●顕微鏡は、倍率13倍～80倍までのズーム式を使用しています。また、X-Yに移動ができるためTFTアレイのどの位置でも、測定ポイントを観測できます。 ●各プローブステージには粗動と微動があるため、プローブの移動が簡単にできます。 ●検査テーブルが±1.0°回転することにより、ガラスのカッティング公差が±0.5mmのものでも対応できます。

構成

① ベース ② 検査テーブル　ユニット ③ 顕微鏡　ユニット ④ 顕微鏡照明　ユニット ⑤ プローブステージ　ユニット（信号印可、GND兼用） ⑥ 信号印可用プロブカード　ユニット ⑦ COMMON用プローブカード　ユニット ⑧ オシロスコープ用プローブステージ　ユニット